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等离子体表面处理仪
概述

    等离子,即物质的第四态,是由部分电子被剥夺后的原子以及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气状物质。它的能量范围比气态、液态、固态物质都高,存在具有一定能量分布的电子、离子和中性粒子,在与材料表面的撞击时会将自己的能量传递给材料表面的分子和原子,产生一系列物理和化学过程。其作用在物体表面可以实现物体的超洁净清洗、物体表面活化、蚀刻、精整以及等离子表面涂覆。
    等离子体表面处理仪是通过利用对气体施加足够的能量使之离化成为等离子状态,利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。

等离子体种类

    1、高温等离子体和低温等离子体
    在低压体气的场合产生的等离子 体称为低温等离子体;气体处于高压状态并从外界获得大量能量,得 到的等离子体称为高温等离子体。由于高温等离子体对物体表面的作 用过于强强烈,因此在实际应用中很少使用,目前投入使用的只有低 温等离子体。
    2、活泼气体和不活泼气体等离子体
    根据产生等离子体时应用的气 体的化学性质不同划分。不活泼气体如氩气(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)等,活泼气体如氧气(O2)、氢气(H2)等,不同类型的气体在清洗过程中的反应机理是不同的,活泼气体的等离子体具有更强的化学反应活性。

等离子体的主要用途与应用领域

    一、等离子体主要作用:
    1、清洁:去除表面有机物污染和氧化物
    2、蚀刻:化学反应性蚀刻、物理蚀刻
    3、改性:粗化、交联
    二、等离子体的主要用途:
    1、半导体IC行业:蚀刻小孔,精细线路的加工;IC芯片表面清洗;绑定打线;沉积薄膜。
    2、纺织行业:纺织纤维表面改性。
    3、生物和医疗行业:半透膜表面亲水的改性;医疗器械的清洁。
    4、镀膜:物理气相沉积(PVD)镀膜;化学气相沉积(CVD)镀膜。

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