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化学气相沉积与原子层沉积前体

四(二乙氨基)铪(IV)
5G

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五乙醇铌(V)
5G

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二(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钙(II)
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三[N,N-双(三甲基硅烷)胺]钇(III)
5G

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三(二乙氨基)(叔丁基亚氨基)钽(V)
5G

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四(乙基甲氨基)钛(IV)
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三(异丙氧基)氧化钒(V)
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[3-(二甲氨基)丙基]二甲基铟
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(2,3-二甲基-1,3-丁二烯)三羰基钌(0)
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三(二甲胺基)铝二聚体
5G

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四(乙基甲基氨基)钒(IV)
5G

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三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酸)铋
5G

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乙酰丙酮饵(III)
1G, 5G, 10G

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五(二甲氨基)钽(V)
250MG, 1G, 5G

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六氟乙酰丙酮钯(II)
100MG, 250MG, 1G

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三(异丙基环戊二烯)铈(III)
1G, 5G

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二(乙基环戊二烯基)锰(II)
1G

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四(乙基甲基胺基)铪(IV)
1G, 5G

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三(异丙基环戊二烯)镧(III)
250MG, 1G, 5G

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三(二甲胺基)镓(III)二聚体
5G

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双(三异丙基环戊二烯基)锶,98％
500mg, 2g

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乙酰丙酮铍
2g, 10g

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双(二乙基氨基)硅烷
5g, 25g

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双(环戊二烯)锰
10g, 25g

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双(2,2,6,6,-四甲基-3,5-庚二酮酸)镁
15g

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二(乙基环戊二烯基)锰(II)
10g, 25g

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双(乙基环戊二烯基)钌(II)
10g, 20g

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叔丁酯亚氨基（二甲氨基）钽（V）
10g, 25g

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四(二乙胺基钛)
10g, 25g

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N，N-二-丁基-2，3-二氨基丁烷锡(II)
5g

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四(乙基甲基胺基)锆
10g, 25g

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三(二甲胺基)硅烷
25g

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