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化学气相沉积与原子层沉积前体

碘化铈
250MG, 1G, 5G

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四(甲乙基氨基)铪(IV)
50G

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三(甲基环戊二烯)化钇(III)
5G

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(正丙基环戊二烯基)三(二甲氨基)锆(IV)
5G

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四(二乙氨基)钛(IV)
5G

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双(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钡
5G

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(叔丁基亚氨基)三(乙基(甲基)氨基)铌
5G

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三(环戊二烯)化钇
5G

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环戊二烯基锂(I)
5G

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二(乙酰丙酮酸)锡(II)
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双(五甲基环戊二烯基)镁
5G

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二(N,N'-二-叔丁基乙脒基)镍(II)
5G

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双(环戊二烯基)钴
5G

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二(二甲基氨基)二(叔丁基亚氨基)钼(VI)
5G

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二(异丙基乙脒基)钙
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三(乙基甲氨基)(叔丁基亚氨基)钽(V)
5G

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双(五甲基环戊二烯基)钴(II)
250MG, 1G, 5G, 15G

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二乙氨基锂(I)
5G

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二(二甲氨基)二(叔丁基亚氨基)钨(VI)
5G

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二(甲基环戊二烯基)镍(II)
5G

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(3,3-二甲基-1-丁炔)六羰基二钴(0)
5G

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(环戊二烯基)三(二甲氨基)锆
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二(叔丁基氨基)硅烷
5G

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二(二乙氨基)硅烷
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三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)铒(III)
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三(二乙氨基)(叔丁基亚氨基)铌(V)
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三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钌
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双(五甲基环戊二烯)钡
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三(2,2,6,6-四甲基-3,5-庚二酮酸)钇
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乙醇锑
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双{[μ-[二(三甲基甲硅烷基)酰胺]}双{[[二三甲基甲硅烷基)酰胺]}双钴(II)
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二(乙基环戊二烯基)锰(II)
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