双(二乙基氨基)硅烷

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双(二乙基氨基)硅烷，99% (99.999%-Si)

Bis(diethylamino)silane, 99% (99.999%-Si) BDEAS PURATREM

货号:J3498-8810

品牌:Strem

纯度:99% (99.999%-Si)

CAS NO:27804-64-4

分子式:SiH?[N(CH?CH?)?]

分子量:174.36

包装	价格
5g	3274元	留言咨询
25g	13028元	留言咨询

仅供研发或工业应用，不可直接用于食品、药品、临床诊断或治疗。

产品介绍

Technical Notes:

1.AL D/CVD precursor for Si thin films

References: 1.J. Electrochem. Soc. 2008, 155, G163 2.ECS Transactions, 2011, 35, 191 3.J. Electrochem. Soc 2012. 159, H277 4.Chem. Vap. Deposition 2013 19, 125 5.IEEE Electron Device L ett. 2010, 31, 857 6.J. Vac. Sci. Technol. A, 2015, 33, 01A137 7.C hem. Mater. 2017.29, 4920 8.Plasma Process Polym. 2019, 16, 1 900032 9.Nanotechnology.2021 32. 075706 10.J. Vac. Sci. Technol. A. 2016, 34, 01A136

应用分类

材料科学 > 电子材料 > 化学气相沉积与原子层沉积前体

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