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(叔丁基酰亚胺基)三(二乙基氨基)钽(V) 98%(99.99%-Ta)图片
(叔丁基酰亚胺基)三(二乙基氨基)钽(V) 98%(99.99%-Ta),(99.99%-Ta)
(t-Butylimido)tris(diethyl-amino)tantalum(V), min. 98% (99.99%-Ta) PURATREM TBTDET
货号:J3473-0723
品牌:Strem
纯度:(99.99%-Ta)
CAS NO:169896-41-7
分子式:C??H??N?Ta
分子量:468.45
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仅供研发或工业应用,不可直接用于食品、药品、临床诊断或治疗。
产品介绍

Technical Note:

1. Useful precursor for the atomic layer deposition of tantalum oxide and tantalum nitride.

References:

1.Journal of Nanosci. and Nanotechno., 2013, 13, 4097. 2.Semicond. Sci. Tech., 2012, 27, 074003/1.

3.Chem. Vapor Depos., 2011, 17, 37. I

4.Electrochem. Solid St., 2010, 13, H426.

5. J. Electrochem. Soc., 2010, 157, H652.

6.J.Electrochem. Soc., 2009, 156, H852.

应用分类
材料科学 > 电子材料 > 化学气相沉积与原子层沉积前体
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