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双(叔丁基亚氨基)双(二甲基氨基)钼(VI),98%图片
双(叔丁基亚氨基)双(二甲基氨基)钼(VI),98%,98%
Bis(t-butylimido)bis(dimethylamino)molybdenum(VI), 98%
货号:J3442-0215
品牌:Strem
纯度:98%
CAS NO:923956-62-1
分子式:C??H??MoN
分子量:326.33
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仅供研发或工业应用,不可直接用于食品、药品、临床诊断或治疗。
安全信息
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产品介绍

Technical Notes:

1.ALD/CVD precursor for molybdenum thin film deposition

References:

1.Chem. Mater. 2007. 19, 263.

2.Chem. Vap. Deposition 2008 14, 71.

3.Thin Solid Films 2008, 516, 6041 .

4.Surf Coat. Techn. 2008 202. 5103.

5.J. Vac. Sci Technol. A, 2014, 32, 01A119.

6.J. Vac. Sci. Technol A, 2016, 34, 01A103.

7.J. Vac. Sci Technol A 2019. 37. 010907.

8.Thin Solid Films 2019, 692, 137607.

9.J. Vac. Sci. Technol. A.2021. 39, 012407.

应用分类
材料科学 > 电子材料 > 化学气相沉积与原子层沉积前体
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