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(叔丁胺基)三(二乙氨基)铌(V)图片
(叔丁胺基)三(二乙氨基)铌(V),min. 98%
(t-Butylimido)tris(diethylamino)niobium(V), min. 98% TBTDEN
货号:J3441-0450
品牌:Strem
纯度:min. 98%
CAS NO:210363-27-2
分子式:C??H??N?Nb
分子量:380.41
包装价格
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仅供研发或工业应用,不可直接用于食品、药品、临床诊断或治疗。
产品介绍

Technical Notes:

1.ALD/CVD precursor for niobium thin film de position

2.J. Chinese ( hem. Soc.1998 45, 355

3.Chem. Mater. 2012. 24. 975

4.J. Vac. Sci. Techno/. A. 2018. 36. 041503 Chem. Vap. [ eposition 2009.15.334

5.J.Vac.Sci.Technol. A.2017 35.01B143 6.Thin Solid Films 2020. 709._ 138232

7.Supercond. Sci. Techno/. 201 7.30, 095010

8.J.Vac. Sci. Technol. A. 2020. 38. 022408

9.ACS Appl. Nano Mater. 2021. 4.514

应用分类
材料科学 > 电子材料 > 化学气相沉积与原子层沉积前体
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