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化学气相沉积与原子层沉积前体
乙醇钽(V)，99.99%
Tantalum(V) ethoxide, 99.99%
货号:
A01142830
品牌:
J&K
纯度:
99.99%
CAS NO:
6074-84-6
分子式:
C10H25O5Ta
分子量:
406.25
包装
价格
1G
141元
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5G
534元
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25G
2125元
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仅供研发或工业应用，不可直接用于食品、药品、临床诊断或治疗。
产品别名
乙醇钽
Tantalumethoxide
基本信息
分子式：
C10H25O5Ta
分子量：
406.25
熔点：
21@760mmHg
沸点：
155@0.01mmHg
闪点：
29@760mmHg（C.C）
密度：
1.566 g/mL（25）
MDL编码：
MFCD00049785
EINECS编号EC No：
228-010-2
安全信息
存储条件：
Store at 2-8℃
危险品标志：
信号词Signal Word：
Warning
危险说明：
H226
防范说明：
P210 P233 P240 P241 P242 P243 P280 P501 P303+P361+P353 P370+P378 P403+P235
产品介绍
作为金属有机前驱体，用于化学气相沉积法制备氧化钽等高介电常数薄膜，应用于微电子器件。
应用分类
材料科学
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电子材料
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化学气相沉积与原子层沉积前体
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