CSC系列 半导体材料电学测量系统
CSC系列半导体材料电学测量系统是基于Partulab CPS系列低温真空探针台和Keithley 4200-CSC半导体参数分析集成设计而成，是一款常温或高低温条件下测量有机半导体器件、纳米器件及薄膜材料电学性能测量的综合性测量系统。该系统可以实现-160℃-400℃、空气和真空条件下的半导体器件和材料电压-电流（I-V）测量、超快脉冲电压-电流（I-V）测量、电容-电压（CV）测量、DLCP测量、电阻（RT）和电阻率（ρT）测量、Hall电压测量等，广泛就用于高校、科研、航空航天、**院所等领域，是目前科研教学表征和测量半导体器件和薄膜材料的**综合测量系统。
测量原理
CSC系列半导体材料电学测量系统主要由Partulab CPS-7000低温真空探针台、Keithley 4200-CSC半导体参数分析仪和LVRMeaskit直流低温电阻测量套件组成。系统配备Lakeshore336温控仪可以与Keithley 4200-CSC和keysight B1500A半导体参数分析仪无缝连接，直接可以在半导体参数分析仪实现器件和材料的变温电学测量，无需客户再编写应用程序，大大节约器件和材料研发时间。
样品温度准确性和温度稳定性是整个低温系统的关键，系统配置3个低温传感器，一个在样品台上，一个在屏蔽罩上，一个在探针臂上，通过监测三个地方的温度，确保可以提供一个准确地控温环境。为了避免探针臂的温度传送到样品上，导致样品温度高于样品台温度，探针臂和探针必须做热沉处理。
产品配置
| Partulab CPS系列低温真空探针台 配置： CPS-7000低温真空探针台（二选一） --4轴或6轴液氮/液氦开环低温探针台 --Lakeshore 336温控仪及传感器 CPS-8000低温真空探针台（二选一） --4轴或6轴GM制冷机闭环低温探针台 -Lakeshore 336温控仪及传感器 PPS-90真空辅助系统 --包含分子泵机组、真空阀门、真空测量 VSZ70KIT 可视化视觉系统 --7:1变焦、彩色CCD、同轴环形光可调电源 |
Keith 4200-CSC半导体参数分析仪（选件） 配置： 4210-SMU I-V 源测量单元（SMU） --实现高达200V/1 A CPS-8000低温真空探针台（二选一） --4轴或6轴GM制冷机闭环低温探针台 -SRS CTC-100温控仪及传感器 PPS-90真空辅助系统 --包含分子泵机组、真空阀门、真空测量 VSZ70KIT 可视化视觉系统 --7:1变焦、彩色CCS、同轴环形光可调电源 | 
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| Partulab LVRMeaskit低电压和低电阻测量套件 配置： FT-BNC 同轴真空BNC Feedthrough --4个或6个BNC Feedthrough、微型低温同轴接地保护电缆 CSH-LR 直流低阻同轴样品固定座 --模仿BNC的结构，样品表面电绝缘，屏蔽良好 DCP50R-W 50Ω阻抗碳化钨探针夹具 --阻抗50Ω的碳化钨针，SMA接头，针尖半径25μm PA-LVR 低电压和低电阻探针臂 --直流低电压和低电阻测量探针臂，带热沉 PLWS 保修服务及技术支持服务 --提供1年保修，终身技术支持服务 |
技术参数
| 型号 | CSC系列 |
| 探针臂个数：4个或6个 | 电压测量：1μV～200V，分辨率1μV |
| 测量温度：-160℃～400℃/10k～675k | 电流测量：100fA～1A，最小分辨率100fA |
| 降温时间：～45min to 110k AC | 阻抗测量：1kHz至10MHz |
| 真空度：～106mbar | 测量参数：C电容 |
| 最大样品尺寸：≤51mm | C-V测量的电压：内置±30V DC偏置装置 |
| 可视系统：7:1变焦，彩色CCD，同轴环形光可调电源 | 碳化钨探针夹具阻抗：50Ω |
| XYZ位移平台行程：X轴51mm，精度20μm；Y轴25mm，精度10μm；Z轴25mm |
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