产品综述
SMM3000X 系列是精密的源/测量单元（SMU）仪器，可同时输出并测量电压和电流，在仪器中集成了电流源、电压源、电压表、电流表功能，各功能可任意切换。其使用的图形用户界面（GUI）和先进的电容式触摸屏技术提供更优的交互使用。
SMM3000X 系列是一款多功能仪器，特别适合半导体特征分析，纳米级器件和材料，有机半导体，印刷电子以及其他小几何尺寸和低功耗器件的测试应用。广泛应用在研发和教育应用、工业开发、测试和制造业等领域。
产品功能
基本功能
拓展功能
应用领域
半导体、分立与被动元件测试
二极管、激光二极管、LED
光电探测器、传感器
场效应管、三极管
ICs（ICs、RFICs、MMICs）
电阻、变阻器、热敏电阻、开关
精密电子及绿色能源器件测试
光伏电池
功率半导体
电池，汽车，医学仪器
用于板级测试的功率与直流偏置源
研究及教育
新材料研究
纳米器件特性
巨磁电阻
有机设备
任何精密 I/V 源或测量
特性与优点
5 英寸真彩 TFT-LCD 大屏显示，分辨率 800*480，搭配触摸屏及全新 UI 交互，图形和数字视图模式
10 fA / 100 nV 最小输出及测量分辨率
6½ 显示分辨率（2,100,000 count）
最大采样速率 100ksps，0.0005 PLC 采样间隔，最大 100 PLC
最小触发间隔 10 μs
大至 100k 点的内部存储空间，支持时间戳四象限精密电源输出（单/双通道）及测量
高达±210 V 直流电压、±3 A 直流电流/±10.5 A 脉冲
电压源、电流源、电压表、电流表或电阻表五种基本模式
支持直流、脉冲、扫描及列表输出
脉冲输出的脉宽最小可达 50 μs
任意波形生成及列表扫描功能（最小 10 μs 间隔）
二线制测量/四线制测量，Delta 低电阻测试方法，有效补偿由热电动势引起的测量误差
支持标准 SCPI 远程控制命令
输出滤波器时间常数可设置以实现不同频响输出，最大 5ms
配置接口：USB Device（选购 USB-GPIB 适配器），USB Host，LAN
高精度脉冲模拟
脉冲模式下，SMM3000X系列支持±10.5A的脉冲电流输出，最小脉宽可达50μs，能够精准模拟功率器件的瞬态工况，如GaN（氮化镓）、SiC（碳化硅）器件的开关损耗测试等，为功率半导体器件的研发和测试提供了强有力的支持。
线性/对数扫描
SMM3000X系列支持线性/对数扫描，可根据用户预设的起始点至终止点，以固定的步进值逐点输出电压或电流，同时自动测量并记录每个点的值。用户可以快速地验证二极管、晶体管等半导体器件在不同工作点下的特性，获取其导通特性曲线，对器件进行性能分析和优化。
灵活自定义序列
列表模式支持用户自定义输出序列，最小间隔可达10μs，参数变化可以是线性的，也可以是非线性的，甚至是任意值或自定义顺序。SMM3000X按照列表中设定的值依次输出电压或电流，同时测量并记录数据，适用于不规则的电压/电流变化测试或多段测试等。
数据可视化分析
SMM3000X系列提供了Graph视图、Roll视图和测量结果视图等多种视图模式。用户可以通过Graph视图对数学运算结果进行实时曲线绘制，通过Roll视图对测试数据的时域波形进行显示，通过测量结果视图获得迹线统计结果统计视图。多种视图模式提供了多维度的参数分析，用户可更直观地理解和分析测试数据。
高效程控
SMM3000X系列基于先进的SCPI命令集，支持通过USB、LAN接口与计算机通信，实现高效便捷的远程控制。用户既可通过网页Web Server轻松操控，也可结合SCPI命令进行深度自定义编程，满足多样化测试需求。此外，用户还可利用Socket通信技术，通过TCP/IP协议与SMM3000X进行网络交互，轻松实现远程测试与控制。
型号和主要参数
基本参数 | SMM3311X | SMM3312X |
源输出（DC） | 电压 | ±210 V | ±210 V |
电流 | ±3.03 A | ±3.03 A |
脉冲 | ±10.5 A | ±10.5 A |
位数 | 源 | 6.5 位 | 6.5 位 |
测量 | 6.5 位 | 6.5 位 |
电流分辨率 | 源 | 10 fA | 10 fA |
测量 | 10 fA | 10 fA |
电流量程（DC） | 10 nA - 3 A | 10 nA - 3 A |
电压分辨率 | 源 | 100 nV | 100 nV |
测量 | 100 nV | 100 nV |
电压量程 | 200 mV - 200 V | 200 mV - 200 V |
触发最小时间间隔 | 10 μs | 10 μs |
通道数 | 1 | 2 |
规范条件 |
温度 | 23 °C ±5 °C |
湿度 | 30% to 80% RH |
校准周期 | 1 year |
测量速度 | 1 PLC（power line cycle） |
热机60分钟后 | 自校准环境温度变化小于±3 °C |
输出 |
象限 | 4 |
最大采集速率 | 100,000 points/s |
输出通道数 | 1 | 2 |
最大输出/吸收负载功率 | 31.8 W |
DC or pulsed | ±210 V ≤0.105 A |
±21 V ≤1.515 A |
±6 V ≤3.03A |
Pulsed only | ±200 V ≤1.515 A |
±6 V ≤10.5 A |
最大输出电流限定 |
最大电流限定：对应 21 V/1.515 A and 6 V/3.03 A 量程，2 通道机型输出最大总电流作如下限定。单通道机型无限定。 |
I 1：CH1 电流 I 2：CH2 电流 | I 1(CH1:±6V) + I 2(CH2:±6V) ≤4A |
I 1(CH1:±6V) + I 2(CH2:±6-21V)X1.6 ≤4A |
I 1(CH1:±6-21V) + I 2(CH2:±6V)X0.625 ≤2.5A |
I 1(CH1:±6-21V) + I 2 (CH2:±6-21V) ≤2.5A |
他补充特性 |
输出特性 |
测量模式 | 两线或四线感应测量模式 |
LO 端子连接模式 | 浮地和连接机壳地 |
输出连接 | 香蕉插头。 对于小于 1 nA 的源和测量，建议采用三轴线缆连接。 香蕉插孔到三轴适配器可用于低电流测量。 |
输出位置 | 通道 1 前面板，通道 2 后面板 |
最大对地电压 | ±250 VDC |
最大容性负载 | 正常模式：0.01 μF 高电容模式：50 μF |
Guard 偏置电压（电压源） | < 4 mV |
sense 端子工作补偿电压 | High Force 和 High Sense 最大电压= 1.5 V Low Force 和 Low Sense 最大电压= 1.5 V |
共模隔离 | > 1 GΩ，< 4500 pF |
Sense 输入阻抗 | > 10 GΩ |
最大感应线电阻值 | 1 kΩ |
订购信息
产品型号 | 产品说明 |
SMM3311X | Precision Source/Measure Unit，1 ch，10 fA，210 V，3 A DC/10.5 A pulse |
SMM3312X | Precision Source/Measure Unit，2 ch，10 fA，210 V，3 A DC/10.5 A pulse |
标准配件 | 数量 |
USB 数据线 | 1 |
快速指南 | 1 |
产品保修卡 | 1 |
电源线 | 1 |
输出线缆 | 1(SMM3311X), 2(SMM3312X) |
选配配件 |
USB-GPIB适配器 |
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