LV-0383是LV系列激光多普勒振动仪配套使用的3维显微镜测量单元。3台激光多普勒振动仪与显微镜光学系统相结合，3轴方向对微小物体的振动进行非接触测。配有同轴照明装置与2台倍率不同的数码相机，可以方便迅速地确定测量位置，并可记录静止画像。可以用于MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）等微小构造物，微小质量物体等，使用接触方式测量困难的超声波驱动的振动对象等，3轴同时进行振动现象的分析评价。

※ LV-1800激光多普勒振动仪配套LV-0181定位内藏照相机时

应用领域

• MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）的振动评价
• 压电元件的剪切应力的状态测量
• 超声波关联物体的振动测量
• 微小构造物的非接触3维振动测量

特长

• 可3维非接触测量振动频率范围0.3 Hz～100 kHz ※1
• 被测物与照射激光，经2个不同倍率（视野）的途径同时观测确定测量位置 ※2
• 激光焦点直径小φ4.5 µm以下可测量微小物体
• 配套激光多普勒振动仪LV-1800，LV-1710/LV-1720/1720A等

※1 100 kHz以上的分析需求可商谈对应

※2 LV-1800激光多普勒振动仪配套LV-0181定位内藏照相机时

系统组成

※ 100 kHz以上的分析需求可商谈对应

简要规格